针对日新月异的复杂先进功能材料研究，从塑性到弹性材料、粘弹性到超硬材、或不同的测试环境，在微纳米尺度下对材料进行质量微观形貌结构的观察和力学性能的测试与研究，可以准确评价材料或提供有效的信息改良材料的成长过程是不可或缺的。纳米力学性能测试系统必须是高精密的设计，载荷力分辨率小于nN；位移分辨率小于0.001nm。越低噪音的测试平台能达nN以下，越精密的设计，越能准确反应材料的真实变化。通过静电力驱动的电容式传感器，透过由静电力驱动的电容式传感器，同步实现驱动和传感，载荷力是由静电力驱动的，而同一时间的位移是通过电容的变化来测量。静电驱动只需要极小的电流，让热漂移和噪音减到最低，从而达到高精度高性能的力学测试。

纳米力学性能测试系统透过提供不同的测试模式如压痕、加载控制、位移控制、原位扫描成像等测试方法，无需拆卸任何硬件可有效减低因拆卸而产生的误差，并备有快速高级的数据采集器、达38,000Hz以上的反馈控制组件和和软件自动化设定功能，和宽阔的函数设置范围，可精密检测对于材料在力学压力下产生的微观变化，从而能对材料进行质量的深入研究，如材料的失效、变形、断裂、疲劳、蠕变、剥离等力学行为的研究。